無錫市副市長周文棟，無錫高新區黨工委副書記、管委會副主任、新吳區委副書記、區長章金偉，區領導洪延煒、華艷紅，無錫先導智能裝備股份有限公司董事長、先導集團董事長王燕清出席活動并共同啟動首發儀式。

 

　　章金偉在致辭中表示

 

　　集成電路是無錫高新區的優勢產業，產業規模突破了千億大關。先導集團作為裝備制造和服務的龍頭企業，正在加快布局集成電路高端設備、關鍵材料。先導集成電路裝備與材料產業園是無錫高新區集成電路產業“5+X”新格局的重要環節，孵化出了天芯微等一批集成電路行業明星企業。天芯微自成立以來，立足自主研發，全力攻克各項技術難題，產品達到國際先進水平，部分核心性能已經超過國際同類產品，取得了重大突破。

 

　　無錫高新區將堅定不移實施創新驅動核心戰略，進一步集成政策、優化服務、豐富生態，助推全區各類企業做大做強，加速打造國內一流、國際知名“6+2+X”現代產業體系，一如既往秉承“尊商、親商、安商、富商”理念，為企業發展提供最有力的支持、最高效的服務、最全面的保障，攜手譜寫合作共贏新篇章。

 

　　王燕清表示

 

　　全球貿易市場、制造業領域風云變幻，半導體核心裝備和材料的研發、制造尤為不易，在無錫市、無錫高新區的關心和支持下，先導集成電路裝備和材料產業園已先后投資孵化了天芯微、微導納米、先為科技、元夫半導體、吳越半導體等一大批優質企業，其中微導納米于本月率先成功過會。目前，園區已經引進了20多個半導體高端技術研發團隊、150名以上核心科學家和博士隊伍以及數千名高級應用人才，助力產業提升。

 

　　江蘇天芯微半導體設備有限公司是先導集團旗下的一家集成電路高端裝備制造商，公司核心團隊來自全球領先的半導體設備公司，擁有25年的先進半導體裝備研發、制造經驗。公司以硅基外延技術為核心，致力于半導體前道關鍵工藝設備的研發與制造，為集成電路行業提供極具競爭力的高端設備和高品質的服務。

 

　　為了解決客戶痛點，滿足客戶需求，天芯微決定在無錫高新區實施半導體外延設備產業化項目，立志于突破國際半導體設備巨頭在該領域的技術壁壘，保障業內先進芯片生產制造。

 

　　天芯微此次發布的Epi300CompassAP硅基外延減壓設備是半導體前道工藝中的關鍵設備，廣泛應用于功率器件、28nm及以下先進制程的邏輯、存儲器件的生產制造。Epi300CompassAP的各項性能均達到了國際先進水平，部分核心性能已經超過國際同類產品，并得到了客戶的肯定。